中國有沒有必要舉全國之力,去造一臺光刻機?
楊三
芯片研發的各個環節環環相扣。要想生產芯片,光刻機的問題是必須克服的一大困難。臺積電之所以在全球占支配地位,跟荷蘭光刻機制造商ASML的深度合作也很有關系。文章提到,ASML現有的光刻機技術就是臺積電的全世界邀約之下、美日歐大企業全部拒絕的情況下,ASML鋌而走險答應的——兩家頗有遠見的企業彼此的信任和肯定,成就了他們今天的市場占比。就目前來說,中國還尚未涌現這樣頗具野心、沉心研發的企業,成熟的科研環境也尚未成型,但是好消息也在向我們招手:ASML與中芯國際簽訂協議,將出售一批EUV光刻機給中國,燃眉之急將解,中國的芯片“卡脖子”現象有望緩解。此外,中科院長春光電所目前在研國產最好的EUV光刻機,成功后將用于7nm及以下制程,其分化出來的上海光機所在EUV核心的液滴錫靶領域取得了較大突破。盡管飽受各種制裁和技術困難,國產光刻機還是有所希望。
楊安琪
關于光刻機的故事:早在1997年,英特爾看到挑戰193nm的巨大難度,決心集合人類精英一起愚公移山,有點流浪地球的意思。他們說服了美國對高科技最開明的克林頓內閣,以公司形式發起了EUV LLC這樣的一個合作組織。
這個組織由英特爾和美國能源部牽頭,集合了當時還如日中天的摩托羅拉以及AMD,以及享有盛譽的美國三大國家實驗室:勞倫斯利弗莫爾實驗室,勞倫斯伯克利實驗室和桑迪亞國家實驗室,投資兩億美元集合幾百位頂級科學家,從理論上驗證EUV可能存在的技術問題。
英特爾還力邀ASML和尼康加入EUV LLC,因為當時美國光刻已經不太行了。但此舉受到美國政府的阻撓,因為他們舍不得讓外國公司分享美國最前沿技術。
最終結果是尼康被排除在外,ASML做了一堆對美國貢獻的許諾后被允許加入。另外一家例外的非美國公司是英飛凌,它被允許和Micron一起加入EUV LLC。
無論如何,需要強調的是,在半導體制造中,光刻只是其中的一個環節,另外還有無數先進科技用于前后道工藝。
正是因為科學家們不屈不撓的努力,才使得我們在這個一切由芯片驅動的偉大時代,享受著各種手機、電腦、家電、汽車飛機和互聯網帶給我們的精彩生活。
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毛主席說過,別人有的我們一定也要有!
舉全國之力造光刻機,是我們的必然選擇!